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龙图腾网恭喜北京七星华创集成电路装备有限公司申请的专利片盒气体输送装置及半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838818U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202420324885.X，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型片盒气体输送装置及半导体工艺设备是由杨晓斌;潘忠怀设计研发完成，并于2024-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本片盒气体输送装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种片盒气体输送装置及半导体工艺设备，该装置中，固定座用于安装于片盒承载部件，柔性连接件与固定座固定连接，且在固定座中设置有第一连接通道，柔性连接件中设置有第二连接通道，第一连接通道的一端用于与气源或厂务排气端连接，第一连接通道的另一端与第二连接通道的一端连接；在片盒放置于片盒承载部件的承载面的情况下，第二连接通道的另一端用于与片盒底部的送气口或排气口连通，且柔性连接件与片盒的底面相贴合，并处于被压缩状态，用以密封第二连接通道与送气口或排气口的连接处。本方案可以降低片盒内部的含氧量和湿度，防止外部的颗粒进入片盒内，从而可以提高片盒内的微环境质量，保护片盒内的晶圆。

本实用新型片盒气体输送装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种片盒气体输送装置，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括用于向所述片盒送气的送气组件，和用于排出所述片盒内气体的排气组件，所述送气组件和所述排气组件均包括固定座和柔性连接件，其中，所述固定座用于安装于片盒承载部件，所述柔性连接件与所述固定座固定连接，且在所述固定座中设置有第一连接通道，所述柔性连接件中设置有第二连接通道，所述第一连接通道的一端用于与气源或厂务排气端连接，所述第一连接通道的另一端与所述第二连接通道的一端连接；在所述片盒放置于所述片盒承载部件的承载面的情况下，所述第二连接通道的另一端用于与所述片盒底部的送气口或排气口连通，且所述柔性连接件与所述片盒的底面相贴合，并处于被压缩状态，用以密封所述第二连接通道与所述送气口或排气口的连接处。

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