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龙图腾网恭喜上海交通大学申请的专利金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114965054B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210540933.4，技术领域涉及：G01N3/08；该发明授权金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法是由宋鑫;孙方宏设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试装置及方法，包括：单晶硅基体表面沉积金刚石膜、化学腐蚀硅基体得到自支撑化的金刚石膜、激光切割得到悬臂梁结构。在测试过程中，首先将被测悬臂梁样品固定在位移平台上，在显微镜的观察下调节三坐标位移平台，使压头对准微悬臂梁的自由端，通过控制压电陶瓷促动器驱动压头匀速加载直至悬臂梁弯曲断裂，对加载过程中的实时位移和接触载荷数据进行记录，获得位移‑载荷曲线。本发明解决了厚度较小的化学气相沉积金刚石膜断裂力学性质的测试难题，通过获得金刚石膜的杨氏模量、断裂强度和断裂韧性等力学性质参数，进而改善金刚石膜的沉积工艺，提升其断裂强度和韧性。

本发明授权金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法在权利要求书中公布了：1.一种金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：试样获取步骤：经金刚石膜沉积、化学腐蚀硅基体、激光切割工序得到待测试的金刚石膜微悬臂梁试样；调节对准步骤：将待测试的金刚石膜微悬臂梁试样粘贴在夹具上，夹具固定在三坐标位移平台上，调节三坐标位移平台，使压头对准微悬臂梁试样的自由端；设备安装步骤：压头、接触载荷测量仪以及压电陶瓷促动器依次连接，通过控制压电陶瓷促动器的位移来驱动压头运动，进行金刚石膜断裂力学性能测试；性能测试步骤：通过软件采集压电陶瓷促动器的位移量和接触载荷大小，得到位移-载荷曲线，根据系统刚性校准结果，计算金刚石膜微悬臂梁试样的真实挠度以及金刚石膜的杨氏模量、断裂强度和断裂韧性；试样获取步骤中，激光切割得到的微观悬臂梁包括无切口微观悬臂梁和单边切口微观悬臂梁，其中无切口微观悬臂梁用于杨氏模量和断裂强度的测量，单边切口微观悬臂梁用于断裂韧性的测量；设备安装步骤中：系统刚性的校准过程为，将压头对准底部有支撑的金刚石膜部分，驱动压头运动，记录载荷-位移曲线，得到指定载荷下的测试系统屈服量，悬臂梁弯曲断裂过程中的压头位移减去当前载荷下的系统屈服量为悬臂梁的真实挠度。

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