恭喜东京毅力科创株式会社山胁阳平获国家专利权
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龙图腾网恭喜东京毅力科创株式会社申请的专利基板加工装置和基板加工方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113924640B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080039357.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板加工装置和基板加工方法是由山胁阳平;中野征二;川口义广;児玉宗久设计研发完成，并于2020-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板加工装置和基板加工方法在说明书摘要公布了：一种基板加工装置，其具备：卡盘，其将基板保持为水平；加工单元，其将加工工具压靠于由所述卡盘保持着的状态的所述基板的外周，加工所述基板；以及下杯，其在所述基板的外周整周的范围内回收从所述基板落下的加工屑，在所述下杯形成有排出所述加工屑的排出口。
本发明授权基板加工装置和基板加工方法在权利要求书中公布了：1.一种基板加工装置，其具备：卡盘，其将基板保持为水平；加工单元，其将加工工具压靠于由所述卡盘保持着的状态的所述基板的外周，加工所述基板；以及下杯，其在所述基板的外周整周的范围内回收从所述基板落下的加工屑，在所述下杯形成有排出所述加工屑的排出口，所述下杯具有在俯视时比所述基板大的下筒部和封堵所述下筒部的下端的开口部的下盖部，在所述下盖部形成有所述排出口，所述下筒部包括避免所述下筒部与所述加工单元之间的干涉的缺口，所述加工单元具有：加工工具安装部，其安装所述加工工具；和驱动部，其使所述加工工具安装部在从侧方相对于所述卡盘接触、分离的方向上进退。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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