恭喜TOPSIL环球晶圆股份公司莫滕·汉尼拔·马德森获国家专利权
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龙图腾网恭喜TOPSIL环球晶圆股份公司申请的专利标记扫描器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113330148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080010812.8,技术领域涉及:G01B11/30;该发明授权标记扫描器是由莫滕·汉尼拔·马德森设计研发完成,并于2020-01-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本标记扫描器在说明书摘要公布了:本发明涉及一种获得单晶锭的纵向取向标记的表面特性参数的方法、一种生产取向被标记的单晶锭的方法、以及一种用于执行该方法的锭扫描器系统。该方法包括围绕旋转轴线旋转单晶锭,记录在角位置处从测量点到单晶锭的表面的距离,将距离与背景形状进行比较以识别偏离背景形状的距离,以及记录偏离背景形状的距离的角位置和相应距离。表面特性参数根据具有偏离背景形状的距离的连续角位置和相应距离被限定。该方法允许确定表面特性参数,不确定性较低。
本发明授权标记扫描器在权利要求书中公布了:1.一种获得单晶锭10的纵向取向标记11的表面特性参数的方法,该方法包括以下步骤:-提供具有圆柱形形状的单晶锭10,该单晶锭具有纵向中心轴线12和自该纵向中心轴线12的半径13,该半径13定义该单晶锭10的表面14,该单晶锭10具有纵向取向标记11,该纵向取向标记11刻在该单晶锭10的表面14上,该纵向取向标记11具有宽度31,41,-围绕旋转轴线23旋转该单晶锭10,该旋转轴线23基本上平行于该纵向中心轴线12并且位于相对于该纵向中心轴线12的偏移值内,-记录该单晶锭10的角位置,-记录在这些角位置处距位于从该旋转轴线23到该单晶锭10的表面14的测量距离处的测量点21的距离,-提供包含这些角位置和在相应角位置时的距离的数据阵列,-根据该数据阵列计算该单晶锭10的背景形状,-将这些距离与该背景形状进行比较,以识别偏离该背景形状的距离,-记录偏离该背景形状的距离的角位置和相应距离,以及-根据具有偏离该背景形状的距离的连续角位置和所述相应距离同时定义该表面特性参数和该宽度31,41。
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