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龙图腾网恭喜浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利石英坩埚的熔融设备参数调整方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119671398B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510171529.8，技术领域涉及：G06Q10/0639；该发明授权石英坩埚的熔融设备参数调整方法是由傅林坚;刘华;杨洁;李恒设计研发完成，并于2025-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本石英坩埚的熔融设备参数调整方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种石英坩埚的熔融设备参数调整方法,涉及半导体材料制备领域。该方法包括：获取石英坩埚多批次熔制过程中的观测过程参数，多过程观测特征矩阵；采用密度估计方法，确定多过程观测特征矩阵的概率密度分布，从B个批次中筛选出S个有效批次；根据有效批次的观测过程参数确定第一特征矩阵，根据有效批次生产的石英坩埚质量参数确定质量矩阵，确定第一相关系数矩阵；基于第一相关系数矩阵中各个系数值，从候选参数中确定熔融设备的目标参数，确定目标时刻；将目标时刻下的目标参数输入预训练的质量预测模型，得到待熔制的石英坩埚的质量预测结果，调整熔融设备的参数。采用本方法能够提高石英坩埚熔融设备的参数调整的精确性和效率。

本发明授权石英坩埚的熔融设备参数调整方法在权利要求书中公布了：1.一种石英坩埚的熔融设备参数调整方法，其特征在于，所述方法包括：获取石英坩埚多批次熔制过程中的观测过程参数，根据所述观测过程参数，构建形状为T×B的多过程观测特征矩阵；其中，所述观测过程参数包括熔制过程中熔融设备的多个候选参数，B为熔制过程的批次数，T为每个熔制过程的引弧时间；采用密度估计方法，确定所述多过程观测特征矩阵的概率密度分布，并根据所述多过程观测特征矩阵的概率密度分布，从B个批次中筛选出S个有效批次；根据S个有效批次的观测过程参数确定第一特征矩阵，根据S个有效批次生产的石英坩埚的质量参数确定质量矩阵，并基于所述第一特征矩阵和所述质量矩阵，确定第一相关系数矩阵；基于所述第一相关系数矩阵中的各个系数值，从所述候选参数中确定所述熔融设备的目标参数，并根据S个有效批次的观测过程参数以及S个有效批次生产的石英坩埚的质量参数，确定目标时刻；其中，所述目标时刻属于所述引弧时间T中的部分引弧时刻t，所述目标参数为与所述石英坩埚的质量参数相关性大于预设值的候选参数；将所述目标时刻下的目标参数输入预训练的质量预测模型，得到待熔制的石英坩埚的质量预测结果，并基于所述质量预测结果调整所述熔融设备的参数。

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