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龙图腾网恭喜上海朋熙半导体有限公司申请的专利一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119126728B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411604137.8，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备是由曹宏辉;杨哲设计研发完成，并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备在说明书摘要公布了：本申请实施例涉及半导体制造控制技术领域，公开了一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备。该系统包括：包括信号监听模块，用以对停机信号进行监听；线程调用模块，用以对停机线程进行调用；线程阻塞模块，用以对停机线程进行阻塞；调度监控模块，用以对流程调度节点实例池中的流程节点实例状态进行监测；流程引擎，用以对流程节点实例状态进行更新，还用以根据流程节点实例状态对流程调度节点实例池进行控制；状态判断模块，用以根据节点实例池中“待调度”和“运行中”节点实例数量对节点实例状态进行判断，还用以对停机线程放行情况进行判断。可以至少用以解决传统的自由停机控制效率低的技术问题。

本发明授权一种半导体生产流程的自由停机控制系统、方法及设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产流程的自由停机控制系统，其特征在于，包括：信号监听模块，用以对停机信号进行监听；所述信号监听模块通过JVM对停机信号进行监听，其中：当JVM监听到非停机信号时，所述信号监听模块判断停机信号的监听结果为不存在停机信号；当JVM监听到停机信号时，所述信号监听模块判断停机信号的监听结果为存在停机信号；线程调用模块，用以根据停机信号的监听结果对停机线程进行调用；所述线程调用模块根据停机信号的监听结果对停机线程的调用情况进行判断，其中：当判断停机信号的监听结果为不存在停机信号时，所述线程调用模块判定不对停机线程进行调用；当判断停机信号的监听结果为存在停机信号时，所述线程调用模块判定对停机线程进行调用，对停机线程进行执行；线程阻塞模块，用以根据停机线程的调用情况对停机线程进行阻塞，并对触发器进行关闭；所述线程阻塞模块在所述线程调用模块判定对停机线程进行调用时，通过阻塞线程里的死循环来判断节点实例池中是否存在“运行中”“待调度”节点实例，并对触发器进行关闭；调度监控模块，用以对流程调度节点实例池中的流程节点实例状态进行监测；流程引擎，用以对流程节点实例状态进行更新，还用以根据流程节点实例状态对流程调度节点实例池进行控制；状态判断模块，用以根据节点实例池中“待调度”和“运行中”节点实例数量对节点实例状态进行判断，还用以对停机线程放行情况进行判断；所述状态判断模块对流程调度节点实例池中的流程节点实例状态进行监测，其中：当流程调度节点实例池中的流程节点实例调度运行完毕时，所述流程引擎模块将流程节点实例状态设定为已运行；当流程调度节点实例池中的流程节点实例开始调度运行时，所述流程引擎模块将流程节点实例状态设定为运行中；当流程调度节点实例池中的新调度生成的流程节点实例为待调度时，所述流程引擎模块将流程节点实例状态设定为待调度。

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