瑟米莱伯技术(无锡)有限公司唐德夫获国家专利权
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龙图腾网获悉瑟米莱伯技术(无锡)有限公司申请的专利一种探针卡自动换型装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222882743U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421223773.1,技术领域涉及:G01R1/067;该实用新型一种探针卡自动换型装置是由唐德夫设计研发完成,并于2024-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种探针卡自动换型装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种探针卡自动换型装置,包括探针卡模组、基座本体、旋转塔台,探针卡对应放置在探针卡模组上,旋转塔台设置在基座本体上,且旋转塔台可以在基座本体上绕中心位置旋转,探针卡模组的数量为多个,采用阵列分布设置在旋转塔台圆周上,探针卡模组通过旋转塔台的旋转实现不同探针卡模组之间的切换,探针卡转动到目标工位时对晶圆载台上的晶圆工作。本实用新型采用由多组不同型号的探针卡同时组合一起,通过高精度旋转塔台的旋转定位,以及双向联动的高精度定位检测器的移动定位方式,实现不同型号探针卡模组的快速切换形式,达到快速对应不同产品的相匹配定位功能,提高产品整体工作效率和生产稳定性。
本实用新型一种探针卡自动换型装置在权利要求书中公布了:1.一种探针卡自动换型装置,其特征在于:包括探针卡模组1、基座本体2、旋转塔台3,探针卡4对应放置在探针卡模组1上,旋转塔台3设置在基座本体2上,且旋转塔台3可以在基座本体2上绕中心位置旋转,探针卡模组1的数量为多个,采用阵列分布设置在旋转塔台3圆周上,探针卡模组1通过旋转塔台3的旋转实现不同探针卡模组1之间的切换,探针卡4转动到目标工位时对晶圆载台上的晶圆工作。
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