恭喜上海隐冠半导体技术有限公司杨枢获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种运动台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222887859U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421859910.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种运动台是由杨枢;王振华;龚威;王权设计研发完成,并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种运动台在说明书摘要公布了:本公开提供了一种运动台,涉及精密制造技术领域。本公开涉及的运动台,包括夹持部以及传送部;所述夹持部包括夹持载板以及设置于所述夹持载板上的一个以上夹持组件,所述夹持组件用以夹持工件;所述传送部包括一个传送模组或堆叠设置的两个以上传送模组,其中,不同的传送模组对应于不同的预设运动方向;所述一个传送模组或者所述两个以上传送模组中最上层的传送模组上堆叠设置有所述夹持部;所述传送模组包括传送载板以及设置于所述传送载板上的一个以上传送运动组件,所述一个以上传送运动组件用于驱动位于所述传送模组上层的夹持载板或位于所述传送模组上层的其他传送模组的传送载板在对应的预设运动方向上运动。
本实用新型一种运动台在权利要求书中公布了:1.一种运动台,其特征在于,包括夹持部(1)以及传送部(2);所述夹持部(1)包括夹持载板(11)以及设置于所述夹持载板(11)上的一个以上夹持组件(12),所述夹持组件(12)用以夹持工件;所述传送部(2)包括一个传送模组(20)或堆叠设置的两个以上传送模组(20),其中,不同的传送模组(20)对应于不同的预设运动方向;所述一个传送模组(20)或者所述两个以上传送模组(20)中最上层的传送模组上堆叠设置有所述夹持部(1);所述传送模组(20)包括传送载板(21)以及设置于所述传送载板(21)上的一个以上传送运动组件(22),所述一个以上传送运动组件(22)用于驱动位于所述传送模组(20)上层的夹持载板或位于所述传送模组(20)上层的其他传送模组的传送载板在对应的预设运动方向上运动。
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