江苏第三代半导体研究院有限公司闫其昂获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉江苏第三代半导体研究院有限公司申请的专利一种固态前驱体封装装置与气相沉积系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222893244U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421467655.5，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种固态前驱体封装装置与气相沉积系统是由闫其昂;周溯沅设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固态前驱体封装装置与气相沉积系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种固态前驱体封装装置与气相沉积系统。固态前驱体封装装置包括瓶体、进气管、出气管和路径延长件；进气管穿设在瓶体上，进气管的一端部分延伸至瓶体内，进气管远离延伸至瓶体内的一端用于与预设的气体供给装置的送气端相连通；出气管穿设在瓶体内，出气管的一端部分延伸至瓶体内，出气管远离瓶体的一端用于与预设的气相沉积设备的反应室相连通；路径延长件用于改变进气管流入瓶体的载气方向。载气在固态前驱体过程中因隔挡板，保证了在远离出气管中心方向上载气传输的均匀性，保证前驱体输出稳定性，延长载气流通路径增加载气固态前驱体接触面积，改善容器本体内前驱体蒸气压不稳定的问题，提高气相沉积工艺的稳定性。
本实用新型一种固态前驱体封装装置与气相沉积系统在权利要求书中公布了：1.一种固态前驱体封装装置，其特征在于，所述固态前驱体封装装置包括：瓶体，所述瓶体用于容置前驱体；进气管，所述进气管穿设在所述瓶体上，所述进气管的一端部分延伸至所述瓶体内，所述进气管远离延伸至所述瓶体内的一端用于与外部气体供给装置的送气端相连通；出气管，所述出气管穿设在所述瓶体内，所述出气管的一端部分延伸至所述瓶体内，所述出气管远离所述瓶体的一端用于与外部气相沉积设备的反应室相连通；路径延长件，所述路径延长件设置在所述瓶体内，所述路径延长件用于改变从所述进气管流入所述瓶体的载气的流动方向，所述载气用于携带所述前驱体进入所述反应室。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏第三代半导体研究院有限公司，其通讯地址为：210000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢214室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号