恭喜华海清科股份有限公司曹自立获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116435220B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310369232.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗装置是由曹自立;李长坤;周静;王志强设计研发完成，并于2023-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗装置，包括：箱体、晶圆支撑机构、晶圆刷洗机构和供液组件，所述晶圆支撑机构包括用于承载晶圆并带动晶圆旋转的滚轮和安装座，安装座用于将滚轮与箱体固定，安装座和箱体之间设置有密封组件，密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧。
本发明授权一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：箱体、晶圆支撑机构、晶圆刷洗机构和供液组件，所述晶圆支撑机构包括用于承载晶圆并带动晶圆旋转的滚轮和安装座，安装座用于将滚轮与箱体固定，安装座和箱体之间设置有密封组件，密封组件包括密封垫、外压环和内压环，内压环将密封垫与安装座固定，外压环将密封垫与箱体固定，内压环位于外压环的内侧；所述外压环的上部具有挡水结构，所述挡水结构包括从外压环的外周边缘向外延伸形成的挡水檐以及挡水檐与箱体之间形成的导水槽。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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