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龙图腾网恭喜深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种等离子体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288224B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310310174.7，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种等离子体设备是由朱新华;张晓军;罗敏;邵寿潜设计研发完成，并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种片材用支撑装置以及等离子体设备。该片材用支撑装置包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且可分别从所述片材的底部的四周边缘、以与面板的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回。本发明的片材用支撑装置能够可靠地支撑片材并抑制片材的偏移。

本发明授权一种等离子体设备在权利要求书中公布了：1.一种等离子体设备，具有真空室，其特征在于，所述真空室内设置有：片材用支撑装置，所述片材用支撑装置包括：基台，在载置面上载置呈矩形状的片材；多个支撑件，分别沿垂直于所述载置面的方向穿过所述基台并可突出于所述载置面，并且分别从所述片材的底部的四周边缘、以与所述片材的长度方向以及宽度方向的中心线错开的方式支撑所述片材；定位组件，安装到所述基台，从所述片材的四周边缘对所述片材进行定位；所述基台和多个所述支撑件当中，至少其中一者可沿垂直于所述载置面的方向被驱动，以使所述支撑件突出于所述载置面或者相对所述载置面缩回；所述定位组件包括多个定位件，多个所述定位件分别沿垂直于所述载置面的方向可伸缩地安装到所述基台，所述定位件在相对于所述载置面朝所述基台的内侧缩回的状态下，所述定位件的远端，分别沿垂直于所述载置面的方向不突出于所述片材；压边件，与所述片材用支撑装置对置；所述基台通过第一驱动部的驱动而靠近或者远离所述压边件，在靠近所述压边件时，所述压边件压住所述片材的四周边缘，并且，所述压边件在压住所述片材的同时，将所述定位件一起下压。

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