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龙图腾网恭喜匠岭科技(上海)有限公司申请的专利一种测量设备的方位角精细校准方法、装置、介质及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119468921B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510052419.X，技术领域涉及：G01B11/00；该发明授权一种测量设备的方位角精细校准方法、装置、介质及设备是由陈慧萍;关乔天;党江涛;高海军;胡晔琳设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量设备的方位角精细校准方法、装置、介质及设备在说明书摘要公布了：在本说明书提供的一种测量设备的方位角精细校准方法、装置、介质及设备中，测量设备包括测量光路单元、起偏器、探测仪和傅里叶椭偏处理单元，调整测量光路单元提供入射光射入待测样本的光栅区域，调整起偏器使入射光转换为电场矢量的偏振方向垂直于入射面且平行于该待测样本的表面的偏振光，探测仪采集出射的光信号，并由傅里叶椭偏处理单元提供光信号对应的傅里叶系数，改变方位角的角度，记录不同方位角下的傅里叶系数，进而确定傅里叶系数中正弦项系数峰值或余弦项系数绝对值谷值对应的角度，作为精细校准角度，以精细校准角度为目标，校准测量设备的方位角，从而提高方位角的精度，保障后续测量待测样本的光学关键尺寸的准确性。

本发明授权一种测量设备的方位角精细校准方法、装置、介质及设备在权利要求书中公布了：1.一种测量设备的方位角精细校准方法，其特征在于，所述测量设备包括测量光路单元、起偏器、探测仪和傅里叶椭偏处理单元，包括：调整所述测量光路单元，提供入射光射入待测样本表面的光栅区域，所述入射光所在平面与所述光栅区域的周期性分布方向之间的夹角为方位角；调整所述起偏器，使所述入射光经过所述起偏器后偏振光的电场矢量的偏振方向垂直于入射面且平行于所述待测样本的表面；通过所述探测仪采集从所述光栅区域出射的光信号，并经过所述傅里叶椭偏处理单元提供所述光信号对应的傅里叶系数；改变所述方位角的角度，并记录在预设的角度范围内的不同方位角下，所述光信号对应的傅里叶系数；根据记录的各傅里叶系数，确定傅里叶系数中正弦项系数等于1的峰值或傅里叶系数中余弦项系数绝对值等于0的谷值对应的角度，作为精细校准角度；以所述精细校准角度为目标，校准所述测量设备的方位角。

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