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龙图腾网恭喜中国矿业大学申请的专利一种全固态MEMS电场传感器及工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115840093B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211246179.X，技术领域涉及：G01R29/12；该发明授权一种全固态MEMS电场传感器及工作方法是由马洪宇;王鸿志;吴力淞;王腊梅;李保东设计研发完成，并于2022-10-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全固态MEMS电场传感器及工作方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种全固态MEMS电场传感器及其工作方法，所述全固态MEMS电场传感器可实现对静态电场交流电场的检测，对静态电场进行测量时可自动识别电场方向。所述全固态MEMS电场传感器包括一个屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等组件。所述全固态MEMS电场传感器的屏蔽极板、传感极板、屏蔽导线、受控开关、放大器、电容等部件采用包括集成电路工艺在内的MEMS微加工工艺制造。本发明的电场传感器不含有可动部件、不需要激励信号驱动，具有功耗低、结构简单可靠、体积小、功耗低、温度特性好、可批量加工等特点。

本发明授权一种全固态MEMS电场传感器及工作方法在权利要求书中公布了：1.一种全固态MEMS电场传感器，其特征在于，包括：第一传感极板，所述第一传感极板设置在衬底上；第一屏蔽板，所述第一屏蔽板设置在所述第一传感极板上方并露出所述第一传感极板；第一屏蔽导线，所述第一屏蔽导线的第一端连接于所述第一传感极板；第一受控单刀双掷开关S1（4），所述第一受控单刀双掷开关S1（4）的接线端子（4.1）通过第一屏蔽导线与所述第一传感极板相连；第一受控单刀双掷开关S1（4）的接线端子（4.1）在控制端子（4.0）控制信号作用下，交替与第一受控单刀双掷开关S1（4）的第一触点端子（4.2）、第二触点端子（4.3）导通；第一受控单刀双掷开关S1（4）的第一触点端子（4.2）接地；第二受控单刀双掷开关S2（5），所述第二受控单刀双掷开关S2（5）通过其中一个触点端子与所述第一受控单刀双掷开关S2（4）的第二触点端子（4.3）连接，所述第二受控单刀双掷开关S2（5）的接线端子（5.1）在控制端子（5.0）控制信号作用下，交替与第二受控单刀双掷开关S2（5）的第一触点端子（5.2）、第二触点端子（5.3）导通；第二受控单刀双掷开关S2（5）的第一触点端子（5.2）接地；第三受控单刀双掷开关S4（10），所述第三受控单刀双掷开关S4（10）的接线端子（10.1）在控制端子（10.0）控制信号作用下，交替与第三受控单刀双掷开关S4（10）的第一触点端子（10.2）、第二触点端子（10.3）导通；第三受控单刀双掷开关S4（10）的第一触点端子（10.2）接地；第一电容CS（7），所述第一电容CS（7）串接在所述第二受控单刀双掷开关S2（5）的接线端子（5.1）和所述第三受控单刀双掷开关S4（10）的接线端子（10.1）之间；运算放大器，所述运算放大器的反相输入端连接所述第三受控单刀双掷开关S4（10）的第二触点端子（10.3），所述运算放大器的同相输入端接电路地；第一受控开关S3（9），所述第一受控开关S3（9）的接线端子连接于所述运算放大器的反相输入端，所述第一受控开关S3（9）的触点端子连接于所述运算放大器的输出端；第二电容CR（8），所述第二电容CR（8）串接在所述运算放大器的反相输入端与输出端之间。

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