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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利四站式处理模块的前级管道组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113728421B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080029941.1，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权四站式处理模块的前级管道组件是由米格尔·本杰明·瓦斯克斯;埃米尔·德拉佩设计研发完成，并于2020-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本四站式处理模块的前级管道组件在说明书摘要公布了：提供了一种用于四站式处理模块QSM的前级管道组件。在一些示例中，该前级管道组件包含：四个入口，每个入口能连接至所述QSM的处理模块的室端口；和出口，其能直接或间接连接至真空源。第一前级管道分岔邻近所述前级管道组件的所述出口而设置。两个第二分岔各自设置在所述第一前级管道分岔与相应的成对的所述入口之间。所述第一前级管道分岔和所述第二分岔将所述前级管道组件分为三个管段。各管段中的前级管道的相应的直径：在从所述入口中的至少一者至所述前级管道组件的所述出口的气体流方向上在相应的分岔处逐步增加，且在所述前级管道组件的相应的管段内不变。

本发明授权四站式处理模块的前级管道组件在权利要求书中公布了：1.一种用于四站式处理模块的前级管道组件，该前级管道组件包含：四个入口，每个入口能连接至所述四站式处理模块的处理模块的室端口；出口，其能直接或间接连接至真空源；第一分岔，其邻近所述前级管道组件的所述出口而设置；两个第二分岔，每个第二分岔设置在所述第一分岔与相应的成对的所述入口之间；所述第一分岔和所述第二分岔将所述前级管道组件分为三个管段：第一管段，其从所述入口延伸至所述两个第二分岔，第二管段，其从所述两个第二分岔延伸至所述第一分岔，和第三管段，其从所述第一分岔延伸至所述前级管道组件的所述出口；其中各管段中的前级管道的相应的直径：在从所述入口中的至少一者至所述前级管道组件的所述出口的气体流方向上在相应的分岔处逐步增加，且在所述前级管道组件的相应的管段内不变；其中所述前级管道组件的所述第一管段包含四个前级管道，每一个都包含沿着所述前级管道而间隔设置的三个基本上呈直角的弯管。

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