恭喜席勒自动化技术有限责任公司托比亚斯·尼尔施获国家专利权
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龙图腾网恭喜席勒自动化技术有限责任公司申请的专利旋转无尘室容器的方法和夹持器总成获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111834268B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010304885.X,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权旋转无尘室容器的方法和夹持器总成是由托比亚斯·尼尔施;卡尔·卡格勒德;托马斯·艾希瑟德;马克西米利安·卡格勒德设计研发完成,并于2020-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转无尘室容器的方法和夹持器总成在说明书摘要公布了:本发明公开一种用于夹持无尘室容器的夹持器总成,包括:夹持器,其经调适以夹持无尘室容器;提升单元,包括用于提升该夹持器的第一马达;至少一缆线,其将该夹持器连接该提升单元,该至少一缆线是由该第一马达所驱动;第二马达,其用于该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转;该夹持器包括接合元件,该提升单元包括互补接合元件,互补接合元件经调适接合于接合元件以避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转;该夹持器包括上夹持器元件和下夹持器元件;该下夹持器元件经调适以支撑无尘室容器的顶部凸缘;该下夹持器元件包括穿过无尘室容器的上凸缘的开口,以及至少一个至少部分围绕该开口而形成的凹口。
本发明授权旋转无尘室容器的方法和夹持器总成在权利要求书中公布了:1.一种旋转无尘室容器的方法,其特征在于,包括下列步骤:将一夹持器降低到一无尘室容器,其中该夹持器连接至少一缆线;该夹持器夹住该无尘室容器;该至少一缆线将该无尘室容器提升到一提升单元,其中该至少一缆线亦连接于该提升单元;将该夹持器的接合元件接合于该提升单元的互补接合元件,以便将该夹持器接合于该提升单元;该夹持器使得所夹持的该无尘室容器绕于垂直轴而旋转;在降低该夹持器的步骤中,将耦接于该夹持器的上夹持器部分的定心元件插入到一晶圆传送盒的顶部凸缘中的开口内;决定该定心元件是否相对于该夹持器移动一预定距离;以及若该定心元件已相对于该夹持器移动该预定距离,则相对于该夹持器的上夹持器元件绕于垂直轴旋转一下夹持器元件。
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