恭喜深圳市紫宸激光设备有限公司;深圳市紫宸激光技术有限公司赵建涛获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市紫宸激光设备有限公司;深圳市紫宸激光技术有限公司申请的专利基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119772291B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510265058.7,技术领域涉及:B23K1/005;该发明授权基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备及方法是由赵建涛;卢财源;杨进;何文强;许必坚设计研发完成,并于2025-03-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及焊接技术领域,具体涉及一种基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备及方法,制备设备包括平台,平台上安装有视觉定位检测装置和激光锡球焊接装置以及温控装置;温控装置包括加热模组、定位支撑模组、冷却模组、控制模组。通过预热阶段的精确温度控制可以使晶圆产品在合适的温度下进行微凸点制备。本申请的制备方法通过预热阶段的精确温度控制可以使晶圆产品在合适的温度下进行微凸点制备。合适的预热温度有助于提高锡球的流动性和与晶圆产品的结合力,使微凸点的形状更加规则、尺寸更加均匀。有效的解决了采用激光焊接方式制备晶圆微凸点存在热应力和润湿性差的问题。
本发明授权基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于视觉定位和检测的晶圆微凸点制备设备,其特征在于:包括平台(3000),所述平台(3000)上固定连接有安装架(3001),所述安装架(3001)上沿着第一方向设置有第一滑轨(3003),所述第一滑轨(3003)上滑动连接有安装板(3004),所述安装板(3004)上安装有视觉定位检测装置(4000)和激光锡球焊接装置(5000),所述平台(3000)上沿着第二方向设置有第二滑轨(3005),所述第一方向垂直于所述第二方向,所述第二滑轨(3005)上滑动连接有安装座(3002),所述安装座(3002)上安装有与晶圆产品(1000)导热连接的温控装置(6000);所述温控装置(6000)包括安装箱体(6100),所述安装箱体(6100)内部安装有加热模组(6200),所述加热模组(6200)的顶部对应晶圆产品(1000)安装有定位支撑模组(6300),所述加热模组(6200)连接有冷却模组(6400),所述加热模组(6200)与所述冷却模组(6400)电连接有控制模组(6500);所述加热模组(6200)包括隔热支架(6201),所述隔热支架(6201)固定安装在所述安装箱体(6100)内部,所述隔热支架(6201)上安装有隔热板(6202),所述隔热板(6202)上固定安装有导热台(6203),所述导热台(6203)的内部固定安装有电热丝(6204),所述电热丝(6204)与所述控制模组(6500)电连接,所述定位支撑模组(6300)固定安装在所述导热台(6203)的顶部;所述定位支撑模组(6300)包括固定板(6301),所述固定板(6301)固定安装在所述导热台(6203)的顶面,所述固定板(6301)上固定连接有定位件(6302),所述晶圆产品(1000)上对应所述定位件(6302)开设有定位部(1001),所述固定板(6301)上固定连接有至少三个支撑球(6303),所述支撑球(6303)与所述晶圆产品(1000)的表面点接触;所述固定板(6301)上开设有若干环形均布的导气孔(6304),所述导热台(6203)的顶部对应所述导气孔(6304)开设有温控腔(6305),所述导热台(6203)上固定密封连接有与所述温控腔(6305)连通的第一温控管(6306),所述第一温控管(6306)连接有抽气泵(6307),所述抽气泵(6307)的输出端连接有第二温控管(6308),所述导热台(6203)的顶部靠近其外边缘处密封转动连接有若干环形均布的弯头喷嘴(6309),所述导热台(6203)的内部开设有与所述弯头喷嘴(6309)密封连通的环形温控通道(6310),所述第二温控管(6308)与所述环形温控通道(6310)密封连通。
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