恭喜环球晶圆股份有限公司王上棋获国家专利权
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龙图腾网恭喜环球晶圆股份有限公司申请的专利材料分析方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115308232B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111665027.9,技术领域涉及:G01N23/04;该发明授权材料分析方法是由王上棋;徐文庆;蔡佳琪;李依晴设计研发完成,并于2021-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本材料分析方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种材料分析方法。经由测量仪器测量由多个晶锭经加工而成的多个晶片,以获得各晶锭经加工后的晶片的弯曲度平均值以及各晶片的多个半高宽。基于各晶片的半高宽来计算各晶锭对应的关键因子。利用这些关键因子以及弯曲度平均值来获得回归方程式。
本发明授权材料分析方法在权利要求书中公布了:1.一种材料分析方法,其特征在于,包括:经由测量仪器测量由多个晶锭经加工而成的多个晶片,以获得每一所述晶锭经加工后所述多个晶片的弯曲度平均值以及每一所述晶片的多个半高宽;基于每一所述晶锭的同一锭的所述多个晶片中的第一晶片与第二晶片每一个的所述多个半高宽,计算所述第一晶片的第一变异系数及所述第二晶片的第二变异系数,并计算所述第一变异系数与所述第二变异系数的差值,并取所述差值的绝对值作为每一所述晶锭对应的关键因子;以及利用所述多个晶锭对应的多个所述关键因子以及多个所述弯曲度平均值来获得回归方程式。
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