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恭喜安徽博诺思信息科技有限公司;国网安徽省电力有限公司宿州供电公司林莉获国家专利权

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龙图腾网恭喜安徽博诺思信息科技有限公司;国网安徽省电力有限公司宿州供电公司申请的专利基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119740933B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510251977.9,技术领域涉及:G06Q10/0639;该发明授权基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统是由林莉;张健;白春光;黄侠;王晓明;左一成;李炜;张见;朱子旭设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统,涉及质量控制技术领域,包括以下步骤:获取晶圆第一数据并构建三维特征矩阵,所述晶圆第一数据包括晶圆表面光学图像、阻抗分布数据和工艺参数数据;基于三维特征矩阵提取小波系数特征建立复合分布模型,对正常样本特征分布进行动态基线建模;根据基线模型分析待评估晶圆的KL散度,并根据KL散度对生产参数调整;获取调整过程中的电路缺陷并构建联合优化函数,基于图神经网络建立缺陷拓扑关系图谱;基于缺陷拓扑关系图谱,构建闭环控制机制,对生产进行反馈优化。本发明通过对实时数据的闭环优化,确保了优化决策的可执行性,提高了生产效率和资源利用率。

本发明授权基于动态分布调优的质量控制数据分析方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于动态分布调优的质量控制数据分析方法,其特征在于,包括以下步骤:获取晶圆第一数据并构建三维特征矩阵,所述晶圆第一数据包括晶圆表面光学图像、阻抗分布数据和工艺参数数据;基于三维特征矩阵提取小波系数特征建立复合分布模型,对正常样本特征分布进行动态基线建模;所述建立复合分布模型,具体为:基于离散小波变换将光学图像分解为低频和高频子带;在低频子带中,计算灰度共生矩阵,通过灰度共生矩阵计算能量值、对比度,同时计算低频子带的均值、方差时域特征作为小波系数特征;在高频子带中,计算幅值和相位频域特征作为小波系数特征;将小波系数特征与阻抗分布数据、工艺参数数据整合获取光学和电学特征,对光学特征使用具有时变均值向量的高斯分布建模,对电学特征采用威沙特分布建模;基于高斯分布模型和威沙特分布模型构建混合高斯-威沙特复合分布模型,并设定正常样本的特征分布符合混合高斯-威沙特复合分布;基于期望最大化算法计算混合高斯-威沙特复合分布模型参数,根据所述模型参数,计算每个样本属于不同高斯分量的概率,根据所述概率,更新高斯分布的均值向量、协方差矩阵以及威沙特分布的自由度和尺度矩阵,不断迭代直至模型收敛;根据基线模型分析待评估晶圆的KL散度,并根据KL散度对生产参数调整;获取调整过程中的电路缺陷并构建联合优化函数,基于图神经网络建立缺陷拓扑关系图谱;基于缺陷拓扑关系图谱,构建闭环控制机制,对生产进行反馈优化。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人安徽博诺思信息科技有限公司;国网安徽省电力有限公司宿州供电公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市高新区望江西路5089号中国科学技术大学先进技术研究院未来中心楼12层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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