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龙图腾网恭喜荣芯半导体(宁波)有限公司申请的专利一种对准标记版图及其操作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119725327B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510232071.2，技术领域涉及：H01L23/544；该发明授权一种对准标记版图及其操作方法是由孙妍设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种对准标记版图及其操作方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种对准标记版图及其操作方法，对准标记版图包括：第一标记，包括参考层第一标记和当前层第一标记，两者的形状和尺寸相同；多个呈旋转对称的第二标记，每个第二标记包括中间第二标记以及间隔设置的外围第二标记和内围第二标记，每个中间第二标记的位置和一个外围第二标记和内围第二标记之间的间隔的位置对应，当中间第二标记为当前层第二标记时，外围第二标记和内围第二标记构成参考层第二标记。本申请通过设置当前层和参考层上的第一标记来进行粗对准，以及设置多个呈旋转对称的第二标记，进行两次对准，以完成精确对准，从而不仅能够实现便捷粗对准，还能实现精确对准，并降低精确对准的难度，进而发挥光刻机更高的套刻潜力。

本发明授权一种对准标记版图及其操作方法在权利要求书中公布了：1.一种对准标记版图，其特征在于，包括：第一标记，包括参考层第一标记和当前层第一标记，所述参考层第一标记和所述当前层第一标记的形状和尺寸相同；多个呈旋转对称的第二标记，每个所述第二标记包括中间第二标记以及间隔设置的外围第二标记和内围第二标记，每个所述中间第二标记的位置和一个所述外围第二标记和所述内围第二标记之间的间隔的位置对应，所述第二标记用于进行两次精细对准；其中，当所述中间第二标记为当前层第二标记时，所述外围第二标记和所述内围第二标记构成参考层第二标记；当所述中间第二标记为参考层第二标记时，所述外围第二标记和所述内围第二标记构成当前层第二标记；所述对准标记版图包含四个所述第二标记，四个所述第二标记旋转对称的旋转角呈90度；所述参考层第一标记位于所述参考层第二标记的旋转中心处，所述当前层第一标记位于所述当前层第二标记的旋转中心处，以使所述第二标记均匀分布；所述第二标记用于进行两次精细对准包括：基于参考层第二标记和当前层第二标记形成参考层第二标记图案和当前层第二标记图案；获取外围第二标记图案的中心点以及中间第二标记图案的中心点的数据并计算所述外围第二标记图案的中心点与所述中间第二标记图案的中心点之间的第一距离差值，将所述第一距离差值与第一阈值范围比较，若所述第一距离差值在所述第一阈值范围内，则认为所述外围第二标记图案与所述中间第二标记图案对准；获取内围第二标记图案的中心点数据以及所述中间第二标记图案的中心点的数据并计算所述内围第二标记图案的中心点与所述中间第二标记图案的中心点之间的第二距离差值，将所述第二距离差值与第二阈值范围比较，若所述第二距离差值在所述第二阈值范围内，则认为所述内围第二标记图案与所述中间第二标记图案对准。

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