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龙图腾网恭喜浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆的清洗装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411689035.0，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权晶圆的清洗装置和方法是由郜茂杰设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆的清洗装置和方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆的清洗装置和方法，清洗装置包括清洗机构和固定机构；固定机构包括支撑结构、限位圈、滑块和第一预设数量个夹具；限位圈与支撑结构转动连接；滑块设置在限位圈的内侧，滑块的数量和夹具匹配，且滑块和夹具间隔设置；第一预设数量个夹具与支撑结构活动连接，且第一预设个夹具内嵌于限位圈的内侧；清洗机构，设置在待清洗晶圆的底部。该清洗装置在晶圆的清洗过程中，通过限位圈带动滑块转动，进而驱动夹具伸缩，以使其对晶圆边缘倒角进行夹持，从而实现了对晶圆的固定，既而利用清洗机构进行晶圆底部的清洗，不仅提高了清洁效率，而且减少了晶圆破损造成的损失以及提高了晶圆的良率。

本发明授权晶圆的清洗装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的清洗装置，其特征在于，包括清洗机构和固定机构；所述固定机构，包括支撑结构、限位圈、滑块和第一预设数量个夹具；所述限位圈与所述支撑结构转动连接；所述滑块设置在所述限位圈的内侧，所述滑块的数量和所述夹具匹配，且所述滑块和所述夹具间隔设置；所述第一预设数量个夹具与所述支撑结构活动连接，且所述第一预设个夹具内嵌于所述限位圈的内侧；其中，相邻的两个所述夹具之间的夹角相等；所述第一预设数量大于或者等于4；所述清洗机构，设置在待清洗晶圆的底部；所述限位圈用于在外力的驱动带动所述滑块在所述支撑结构上转动，以驱动所述第一预设数量个夹具向所述限位圈的圆心方向移动，从而对所述待清洗晶圆进行固定，进而利用所述清洗机构对所述待清洗晶圆的底部进行清洗。

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