无锡锐捷芯盛电子科技有限公司王宜进获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡锐捷芯盛电子科技有限公司申请的专利一种离子源阴极用支架及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119314851B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411264919.1,技术领域涉及:H01J37/32;该发明授权一种离子源阴极用支架及其使用方法是由王宜进;钱磊设计研发完成,并于2024-09-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源阴极用支架及其使用方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种离子源阴极用支架及其使用方法,本发明涉及离子注入技术领域。具体包括:离子源壳,所述离子源壳的顶部固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部固定连接有阴极箱,所述阴极箱的内部设置有阴极,所述离子源壳的外部设置有绝缘子固定板;该离子源阴极用支架还包括:锁紧机构,用于连接阴极箱与阴极,所述锁紧机构固定连接在离子源壳的外部,所述锁紧机构包括绝缘子和第一螺丝,所述绝缘子固定板与离子源壳通过第一螺丝固定连接,所述绝缘子与绝缘子固定板通过第二螺丝固定连接,所述绝缘子的内部开设有槽;固定机构,用于固定阴极的位置,该离子源阴极用支架及其使用方法,达到了提高设备的使用效率的目的。
本发明授权一种离子源阴极用支架及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种离子源阴极用支架,具体包括:离子源壳(1),其特征在于:所述离子源壳(1)的顶部固定连接有支撑板(13),所述支撑板(13)的顶部固定连接有阴极箱(4),所述阴极箱(4)的内部设置有阴极(5),所述离子源壳(1)的外部设置有绝缘子固定板(2);该离子源阴极用支架还包括:锁紧机构(3),用于连接阴极箱(4)与阴极(5),所述锁紧机构(3)固定连接在离子源壳(1)的外部,所述锁紧机构(3)包括绝缘子(302)和第一螺丝(301),所述绝缘子固定板(2)与离子源壳(1)通过第一螺丝(301)固定连接,所述绝缘子(302)与绝缘子固定板(2)通过第二螺丝固定连接,所述绝缘子(302)的内部开设有槽(303);固定机构(6),用于固定阴极(5)的位置,所述固定机构(6)固定连接在槽(303)的内部,所述固定机构(6)包括头部(601)和石墨螺母(603),所述头部(601)的底部固定连接有阴极支架(602),所述头部(601)套设在阴极(5)的外部,所述石墨螺母(603)设置在阴极(5)的外部,所述阴极支架(602)与槽(303)通过第三螺丝固定连接;所述固定机构(6)还包括灯丝夹(606)和调整组件(604),所述灯丝夹(606)的内部卡合连接有灯丝(605),所述调整组件(604)固定连接在石墨螺母(603)的外部,所述灯丝夹(606)与槽(303)通过第四螺丝固定连接。
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