恭喜株式会社斯库林集团山口贵大获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113363180B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110243978.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理方法是由山口贵大;泽岛隼;东克栄;小林健司设计研发完成，并于2021-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理方法在说明书摘要公布了：本发明的课题在于提高蚀刻轮廓的自由度。本发明的衬底处理方法包括如下工序：使衬底旋转；使用中央喷嘴向旋转的衬底的中央部喷出第1处理液；以及使用边缘喷嘴向旋转的衬底的边缘部喷出第2处理液，俯视时该边缘部包围着中央部；边缘喷嘴从相对于衬底的主表面倾斜的方向，顺着衬底的旋转方向喷出第2处理液，且边缘喷嘴向如下位置的衬底的边缘部喷出第2处理液，即，俯视时从连结衬底的中心和中央喷嘴的线，顺着衬底的旋转方向前进半周后的位置。
本发明授权衬底处理方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理方法，包括如下工序： 使保持在衬底保持部的衬底旋转； 从中央喷嘴向旋转的所述衬底喷出第1处理液，同时使所述中央喷嘴从所述衬底的中央部朝所述衬底的径向移动； 使用边缘喷嘴向旋转的所述衬底的边缘部喷出第2处理液，俯视时该边缘部包围着所述中央部；以及 所述边缘喷嘴从相对于所述衬底的主表面倾斜的方向，顺着所述衬底的旋转方向喷出所述第2处理液；且 所述边缘喷嘴向如下位置喷出所述第2处理液，即，比俯视时所述中央喷嘴从所述衬底的所述中央部朝所述径向移动后的位置起向顺着所述衬底的旋转方向前进半周后的位置，更向顺着旋转方向前进后的所述衬底的所述边缘部上的位置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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