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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种表面微观形貌测量传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111351451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010298447.7，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种表面微观形貌测量传感器是由施玉书;张树;皮磊;史舟淼;高思田;李伟;李琪;李适;黄鹭设计研发完成，并于2020-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种表面微观形貌测量传感器在说明书摘要公布了：本发明公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本发明通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。

本发明授权一种表面微观形貌测量传感器在权利要求书中公布了：1.一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，其特征在于，所述表面微观形貌测量传感器包括： 触针，用于测量微观形貌； 触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动； 磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；所述磁恒力模块包括控力连杆、环形永磁体、环形线圈以及线圈保持架；所述控力连杆包括第一控力连杆与第二控力连杆，所述第一控力连杆一端与所述触针轴的另一端连接，所述第一控力连杆与所述触针轴垂直设置；所述第一控力连杆的另一端与所述第二控力连杆的一端连接，所述第二控力连杆与所述第一控力连杆垂直设置，且所述第二控力连杆与所述触针轴位于所述第一控力连杆的同一侧；所述环形永磁体套设在所述第二控力连杆上；所述线圈保持架包括上线圈保持架和下线圈保持架，所述上线圈保持架和所述下线圈保持架均固定在固定板上；所述环形线圈包括上环形线圈和下环形线圈，所述上环形线圈套设在所述上线圈保持架上，所述下环形线圈套设在所述下线圈保持架上；所述环形永磁体位于所述上环形线圈与所述下环形线圈之间，所述环形永磁体与所述上环形线圈与所述下环形线圈平行且共轴； 触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴的外围，用于使所述触针轴悬浮；所述触针轴作为空气轴承的活塞杆在空气轴承中做起伏运动； 位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移；所述位移测量模块还包括反射部件与激光干涉仪，激光干涉仪搭建在触针轴的上方，激光干涉仪光路中心与触针轴的轴心重合。

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