杭州电子科技大学;瑞安市人民医院(瑞安市人民医院医疗服务集团瑞安市红十字医院);绍兴君尚英高新材料科技有限公司高稔现获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学;瑞安市人民医院(瑞安市人民医院医疗服务集团瑞安市红十字医院);绍兴君尚英高新材料科技有限公司申请的专利一种基于纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120136023B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510629464.7，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权一种基于纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法是由高稔现;李东齐;孔哲;汤呈宣;赵晓宇;张永军;张鉴;钟熙强;何少奇;崔茹飞;温嘉红;朱大鹏;谢敏;张坤;王雅新设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于微纳结构领域，涉及基于纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法。该方法通过电子束热蒸发系统、自组装技术和反应离子刻蚀得到了纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构，不仅制备过程简单、成本低、可重复性好，而且结构稳定性好、耐受性高。本发明与硅衬底支撑的超表面相比，针尖支撑极大地提高了超表面瞬态信号振荡调制能力，显著改善了光机械转换效率和振荡质量，品质因数比普通硅衬底提高了几个数量级。
本发明授权一种基于纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： S1在硅片上沉积一层Au膜； S2在Au膜表面自组装得到周期性排列的聚合物材质的微球； S3使用反应离子刻蚀，利用O2来减小微球的体积; S4使用反应离子刻蚀，利用Ar物理轰击未被微球掩模板遮挡的Au，露出硅片； S5去除微球； S6使用反应离子刻蚀，利用SF6刻蚀硅片上露出的Si层，得到纳米针尖支撑的单层圆盘3D结构。
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