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申请/专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日：2009-12-10
公开（公告）日：2013-03-06
公开（公告）号：CN102096423B
专利技术分类：..具有随温度变化而产生电或磁性质变化的传感元件（G05D23/13优先）[2006.01]
专利摘要：一种恒温装置，本发明提供了一种恒温装置，包括设在所述加热装置之前的加热器温度传感器，其用于测得进入所述加热装置之前的载冷剂的温度；设在所述制冷装置与所述加热装置之间的混合装置，其混合未经所述制冷装置的载冷剂与经过所述制冷装置的载冷剂，并将经混合的载冷剂输送至所述加热装置；控制器，其根据所述进入加热装置之前的载冷剂的温度与所述加热装置的入口温度设定值的差，经由所述混合装置控制流经所述制冷装置的载冷剂的流量。根据进入加热装置的温度设定值与实际载冷剂温度的差，使用电控混流三通阀装置对进入加热装置前的载冷剂进行初级恒温，提高整机恒温精度。
专利权项：一种恒温装置，其具有用泵来输送载冷剂的管路，形成所述载冷剂的循环流路，在所述循环流路中，所述载冷剂先经制冷装置进行制冷然后经加热装置进行加热以到达所需的预定温度，其特征在于，还包括：设在所述加热装置之前的加热器温度传感器，其用于测得进入所述加热装置之前的载冷剂的温度；设在所述制冷装置与所述加热装置之间的混合装置，其混合未经所述制冷装置的载冷剂与经过所述制冷装置的载冷剂，并将经混合的载冷剂输送至所述加热装置；控制器，根据所述进入加热装置之前的载冷剂的温度与所述加热装置的入口温度设定值的差，由所述混合装置控制流经所述制冷装置的载冷剂的流量。
百度查询： 上海微电子装备有限公司 恒温装置以及恒温方法
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