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申请/专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日：2007-08-14
公开（公告）日：2008-01-23
公开（公告）号：CN101110156A
专利技术分类：.用脉冲传输的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种脉冲信号的逼近方法，用于逼近实际工程中探测到的脉冲辐射探测信号，该方法以脉冲衰减指数系数c为参数得到脉冲延续时间t与脉冲辐射信号逼近值ft的关系，所述关系由式ft＝ptect+ht确定。其中，脉冲辐射探测信号ft＞0，pt为关于脉冲延续时间t的多项式，ht为关于脉冲延续时间t的直流漂移分量。该逼近方法用于在光刻装置的对准系统中对脉冲辐射探测信号的能量进行计算和对扩展采样进行同步校准。与现有技术相比，本发明的技术方案采用了较现有技术更佳的非对称逼近方法，其精度非常高，且稳定性较强。
专利权项：1.一种脉冲信号的逼近方法，用于逼近实际工程中探测到的脉冲辐射探测信号，其特征在于，所述方法以脉冲衰减指数系数c为参数得到脉冲延续时间t与脉冲辐射信号逼近值ft的关系，所述关系由下式确定：ft＝ptect+ht其中，脉冲辐射探测信号ft＞0，pt为关于脉冲延续时间t的多项式，.ht为关于脉冲延续时间t的直流漂移分量。
百度查询： 上海微电子装备有限公司 脉冲信号的逼近方法
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