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申请/专利权人：中科钢研节能科技有限公司;上海大革智能科技有限公司
申请日：2017-09-06
公开（公告）日：2018-07-27
公开（公告）号：CN207659559U
专利技术分类：..碳化物[2006.01]
专利摘要：本实用新型涉及碳化硅长晶领域，公开了一种坩埚盖和坩埚，该坩埚盖包括坩埚盖本体1和籽晶托2，所述坩埚盖本体1与所述籽晶托2活动连接，所述坩埚盖本体1暴露于坩埚内腔的部分的表面设置有TaC涂层3。本实用新型的坩埚盖暴露于坩埚内腔的部分的表面设置有TaC涂层，可以防止硅腐蚀，并且，坩埚盖本体与籽晶托是可分离的，长晶结束后，可取下籽晶托，更换新的籽晶，达到坩埚盖的重复使用。
专利权项：1.一种坩埚盖，其特征在于，该坩埚盖包括坩埚盖本体1和籽晶托2，所述坩埚盖本体1与所述籽晶托2活动连接，所述坩埚盖本体1暴露于坩埚内腔的部分的表面设置有TaC涂层3。
百度查询： 中科钢研节能科技有限公司 上海大革智能科技有限公司 坩埚盖和坩埚
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