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申请/专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
申请日：2007-05-09
公开（公告）日：2008-11-12
公开（公告）号：CN101303264A
专利技术分类：.利用电离效应的[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种电离规，该电离规包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，其中，线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。该场发射薄膜优选为碳纳米管。该电离规利用碳纳米管的场发射性质发射电子，从而测量气体压强，因此具有结构简单、稳定性好、低功耗、低放气率等优点，适用于对温度或光敏感的真空系统。
专利权项：1.一种电离规，包括线状阴极、阳极和离子收集极，该阳极环绕于线状阴极外侧，离子收集极环绕于阳极外侧，线状阴极、阳极和离子收集极相互绝缘地间隔设置，其特征在于：线状阴极包括线状基体及设置于线状基体上的场发射薄膜。
百度查询： 清华大学 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 电离规
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