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申请/专利权人：王少志
申请日：2008-08-15
公开（公告）日：2009-01-14
公开（公告）号：CN101342478A
专利技术分类：.包含无机材料[2006.01]
专利摘要：硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法，它涉及一种气体提纯吸附剂及其制备方法。它解决了目前采用钯粉吸附剂对硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体中的杂质气体去除率低，还需要进一步协助分解的问题。提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。制备方法：在氢气存在下将氢气与三甲基铝的混合汽体喷涂于温度为600～650℃的载体表面，即得到硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂。本发明提纯吸附剂在不增加协助分解的情况下经检测CO2的去除率高于95％、CH4的去除率高于98％、C2H6的去除率高于98％、O2的去除率高于99.8％、CO的去除率高于95％、水蒸气的去除率高于99.6％。
专利权项：1、硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂，其特征在于硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂由载体和载体表面的金属铝层组成。
百度查询： 王少志 硅烷、磷烷、砷烷或硼烷气体提纯吸附剂及其制备方法
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