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申请/专利权人:株式会社村田制作所
申请日:2015-01-28
公开(公告)日:2019-01-18
公开(公告)号:CN105934651B
专利技术分类:....反相运动中具有两个传感部件的装置[2012.01]
专利摘要:一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构,该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。
专利权项:1.一种微电子机械陀螺仪结构,包括:第一对驱动结构;第二对驱动结构;第一对感测结构;第二对感测结构,其中,驱动结构耦合到地震质量件并且包括被配置成诱发所述地震质量件的主振荡的换能器;一对驱动结构的地震质量件被耦合成按相反的相位振荡并且与公共的主振荡轴对准;所述第一对驱动结构的主振荡轴和所述第二对驱动结构的主振荡轴沿着振荡平面正交地延伸;感测结构包括感测装置和耦合弹簧结构;所述耦合弹簧结构将所述感测装置连接到所述第一对驱动结构的地震质量件并且连接到所述第二对驱动结构的地震质量件;所述耦合弹簧结构被配置成向所述感测装置传递所述地震质量件中的每个地震质量件的沿与其主振荡轴垂直的方向的运动分量、并且吸收所述地震质量件中的每个地震质量件的沿其主振荡轴的方向的运动分量;所述感测装置被悬挂到静态支承件并且被配置成沿相对于所述第一对驱动结构的主振荡轴对角并且相对于所述第二对驱动结构的主振荡轴对角的方向振荡。
百度查询: 株式会社村田制作所 改进的陀螺仪结构和陀螺仪
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