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申请/专利权人：株式会社村田制作所

申请日：2014-09-10

公开（公告）日：2018-03-30

公开（公告）号：CN105531564B

专利技术分类：...包含微机械结构的设备[2012.01]

专利摘要：提供了一种微机电陀螺仪，该微机电陀螺仪包括被悬挂以形成质量块平面的两个震动质量块。震动质量块被激励而绕在质量块平面内的共同主轴旋转振荡。检测到的角运动引起第一震动质量块绕第一检测轴的旋转振荡以及第二震动质量块绕第二检测轴的旋转振荡。检测轴与质量块平面垂直并且间隔了非零距离。

专利权项：一种微机电陀螺仪结构，包括：第一震动质量块，包括平面表面；第二震动质量块，包括平面表面；第一弹簧结构件，用于将所述第一震动质量块和所述第二震动质量块在本体元件上悬挂于平行位置，其中，所述第一震动质量块的平面表面和所述第二震动质量块的平面表面形成参考质量块平面；激励装置；检测装置；其特征在于，所述第一弹簧结构件包括在所述第一震动质量块的平面内的第一锚定点和附接至所述第一锚定点和所述第一震动质量块的第一弹簧组件，所述第一锚定点用于将所述第一震动质量块附接至另一本体元件，所述第一弹簧组件使得所述第一震动质量块能够绕与所述质量块平面平行的第一激励轴旋转振荡；所述第一弹簧结构件包括所述第二震动质量块的平面内的第二锚定点和附接至所述第二锚定点和所述第二震动质量块的第二弹簧组件，所述第二锚定点用于将所述第二震动质量块附接至所述另一本体元件，所述第二弹簧组件使得所述第二震动质量块能够绕与所述质量块平面平行的第二激励轴旋转振荡；所述第一激励轴和所述第二激励轴对准成共同主轴；所述第一弹簧组件使得所述第一震动质量块能够绕与所述质量块平面垂直的第一检测轴旋转振荡；所述第二弹簧组件使得所述第二震动质量块能够绕与所述质量块平面垂直的第二检测轴旋转振荡；所述第一检测轴和所述第二检测轴间隔了非零距离；所述激励装置被配置成驱动所述第一震动质量块和所述第二震动质量块绕所述共同主轴振荡；所述检测装置包括具有平面内检测梳的至少一个检测器元件以及第二弹簧结构件，所述第二弹簧结构件用于将所述第一震动质量块的旋转振荡或所述第二震动质量块的旋转振荡转变为所述平面内检测梳在所述质量块平面内沿与所述共同主轴平行的方向的线性振荡；所述检测装置被配置成检测所述平面内检测梳的线性振荡。

百度查询： 株式会社村田制作所 改进的陀螺仪结构和陀螺仪