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申请/专利权人：恩斯克科技有限公司
申请日：2010-11-24
公开（公告）日：2014-05-28
公开（公告）号：CN102257437B
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种能够使曝光单元整体变得小型化，并且能够缩短生产节拍时间的预对准装置以及预对准方法。通过预对准装置20具有：对载置在精密温度调整板22上的基板W进行温度调整的基板温度调整机构；和检测载置在精密温度调整板22上的基板的异物的异物检测机构34；这样能够使预对准装置20、基板温度调整机构和异物检测机构成为简单的装置，并且能够减少搬送用机器人的数量，并使曝光单元整体变得小型化。并且，通过对进行温度调整中的基板进行预对准和异物检测，能够缩短生产节拍时间。
专利权项：一种预对准装置，所述预对准装置用于对搬送到曝光装置的基板进行预对准，其特征在于，具有：基板保存部，所述基板保存部载置所述基板，并具有多个销孔；基板驱动机构，所述基板驱动机构沿预定方向以及与该预定方向正交的方向驱动所述基板保存部，并且绕与所述方向正交的轴进行旋转驱动；基板温度调整机构，所述基板温度调整机构对载置在所述基板保存部上的基板进行温度调整；异物检测机构，所述异物检测机构用于检测出载置在所述基板保存部上的基板的异物；和销驱动机构，所述销驱动机构沿着与所述轴平行的方向驱动多个销，使多个所述销在多个所述销孔中前进、后退，在所述基板温度调整机构对所述基板进行冷却的期间，所述基板驱动机构驱动所述基板保存部，进行所述基板的预对准，通过使所述销下降，使所述基板接触到所述基板保存部以进行吸附保存，由此利用所述基板温度调整机构冷却所述基板。
百度查询： 恩斯克科技有限公司 预对准装置以及预对准方法
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