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申请/专利权人：拉波特株式会社
申请日：2013-05-21
公开（公告）日：2015-03-04
公开（公告）号：CN104395496A
专利技术分类：...爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法（C23C14/34至C23C14/48优先）[2006.01]
专利摘要：沉积装置100使材料颗粒P沉积，其包括：离子化部20，其在被供应材料颗粒P的反应室中利用光电效应使材料颗粒P离子化；以及电极部32、34，其利用库仑力将离子化的材料颗粒P向给定的区域引导。
专利权项：一种沉积装置，使材料颗粒沉积，其特征在于，包括：离子化部，其在被供应上述材料颗粒的反应室中利用光电效应使上述材料颗粒离子化；以及电极部，其利用库仑力将离子化的上述材料颗粒向给定的区域引导。
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