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申请/专利权人：淡马锡理工学院;新加坡科技研究局
申请日：2013-08-12
公开（公告）日：2018-03-27
公开（公告）号：CN104854487B
专利技术分类：.偏振元件（具有有源元件的光调制器件入G02F1/00）[2006.01]
专利摘要：本发明的一个方面提供光栅，光栅包括基片，基片包括：多个凸起，任意两个相邻凸起之间存在间隔；和盖帽，设置于多个凸起中至少一个上离基片最远的端部，其中盖帽相比于基片材料具有更高的光学衰减度并且其中每个凸起和在其上各自盖帽的组合具有大致对称的横截面轮廓。
专利权项：光栅，包括：基片，包括多个凸起，其中在任意两个相邻凸起之间具有间隔；和盖帽，设置于所述多个凸起中的至少一个凸起上离所述基片最远的端部，其中所述盖帽相比于所述基片的材料具有更高的光学衰减度，并且其中每个凸起和其上各自盖帽的组合具有对称的横截面轮廓，其中所述盖帽为所述多个凸起中的每个凸起提供侧壁，所述侧壁沿所述侧壁的至少一部分具有横截面圆弧轮廓，并且其中所述盖帽由不透明的且非反射的材料制成。
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