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申请/专利权人：旭化成电子株式会社
申请日：2004-09-29
公开（公告）日：2005-04-06
公开（公告）号：CN1603951A
专利技术分类：
专利摘要：在将张贴在框体上的大型薄片膜贴装到光掩模上时，为了防止前述大型薄片膜产生皱褶，在由面积在1000cm2以上的薄片膜、及用于展开并贴装支撑薄片膜的具有一对长边和一对短边的框体构成的大型薄片中，框体的至少一对长边向框体外侧突出，并且，通过将薄片膜展开张设于框体上，框体的长边中央部与长边端部相比向内侧凹入。
专利权项：1.一种薄片，包括：一个薄片膜2，从该薄片膜2的厚度方向观察，其面积大于等于1000cm2，和一个框1，伴有薄片膜2的拉伸应力地在其上张设薄片膜2，其中，所述框1包括：从薄片膜2的厚度方向观察、在一个方向上相互对向的一对相对较短的外周边缘，和从薄片膜2的厚度方向观察、在与前述方向垂直的另一个方向上相互对向的一对相对较长的外周边缘，其中，在伴有薄片膜2的拉伸应力地将薄片膜2张设在框1上之前，相对较长的外周边缘的至少一个具有弯曲形状，于是，从薄片膜2的厚度方向观察，连接相对较长外周边缘的至少一个上的第一位置和第二位置的假想直线，相对于第一位置和第二位置之间的相对较长外周边缘的至少一个上的第三位置、从框1的半径方向内侧通过，所述相对较长的外周边缘的至少一个，由于伴有拉伸应力地将薄片膜2张设于框1上而变形，于是，从薄片膜2的厚度方向观察，连接相对较长外周边缘至少一个上的第一位置和第二位置的假想直线，相对于相对较长外周边缘的至少一个上的第一位置和第二位置之间的第三位置、从框1的半径方向外侧通过。
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