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申请/专利权人：富士胶片株式会社
申请日：2004-07-21
公开（公告）日：2005-03-09
公开（公告）号：CN1590110A
专利技术分类：..用扫描和调谐光的组合[2006.01]
专利摘要：本发明只使用沿着DMD50的扫描方向的768列的微镜中的192列，且将该192列分割成5个区域区域1～5，顺次从区域1向区域5传送控制信号，同时从传送结束了的区域开始顺次进行微镜的复位，从而能够在使具有排列有多列根据所输入的控制信号调制入射光的微镜的空间光调制器件的曝光头，沿着曝光面在扫描方向上相对移动而进行曝光的曝光装置中，缩短空间光调制器件的更新时间。
专利权项：1.一种绘图方法，使具有配置有多列在每一列中配置有多个根据所输入的控制信号调制入射光的绘图器件的绘图器件列的空间光调制器件、且使受该空间光调制器件调制的光成像在绘图面上的绘图头，沿着上述绘图面向着给定的扫描方向相对移动从而进行绘图，其特征在于：将上述多个绘图器件列以一个或多个绘图器件列为单位进行分割，顺次向该所分割的多个分割区域输出上述控制信号，从上述控制信号的输入已完成的分割区域的绘图器件开始顺次进行上述调制。
百度查询： 富士胶片株式会社 绘图方法以及绘图装置
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