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申请/专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日：2003-08-20
公开（公告）日：2007-02-14
公开（公告）号：CN1299836C
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供一种能够以良好的精度将液体涂敷于涂敷区域的涂敷装置和涂敷方法。在使掩模4位于试涂位置的状态下，一边使喷嘴沿X方向作往复移动一边将有机EL材料朝向掩模4喷出，在掩模4的内周面上形成涂敷轨迹CL。接着，利用CCD照相机对该涂敷轨迹CL的光学像Ic1进行拍摄，将表示该涂敷轨迹CL的图像数据暂时地存储于控制部的存储器中。另外，在使掩模4位于涂敷位置的状态下，利用CCD照相机对基板1的槽11的光学像I11进行拍摄，将表示该槽11的图像数据暂时地存储控制部的存储器中。然后，根据这些图像数据，以涂敷轨迹CL与槽11相一致的方式，使基板1定位。然后，进行涂敷处理。
专利权项：1.一种涂敷装置，一边使基板和喷嘴相对移动，一边从所述喷嘴将液体供给至所述基板，由此将所述液体涂敷于所述基板的规定涂敷区域，其特征在于：包括：拍摄机构，该拍摄机构对从所述喷嘴喷出所述液体在掩模上或所述基板上的非涂敷区域所形成的涂敷轨迹进行拍摄；控制机构，该控制机构根据从所述拍摄机构输出的与所述涂敷轨迹有关的涂敷轨迹信息，调整所述基板和所述喷嘴的相对位置关系，使得所述涂敷轨迹与所述涂敷区域相对应。
百度查询： 大日本网目版制造株式会社 涂敷装置和涂敷方法
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