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申请/专利权人：株式会社东芝
申请日：2012-03-08
公开（公告）日：2012-09-26
公开（公告）号：CN102693924A
专利技术分类：.在制造或处理过程中的测试或测量[2006.01]
专利摘要：根据一个实施形态，本发明提供具备抽样检查部、检查插补部、等级划分部以及信息制作部的检查系统。抽样检查部收集通过抽样检查获得的元件的特性值。检查插补部使用插补法求出没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值。等级划分部根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求出的元件的特性值按等级制作与元件组有关的信息。信息制作部根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。
专利权项：一种检查系统，其特征在于，具备：抽样检查部，收集通过抽样检查获得的元件的特性值；检查插补部，使用插补法求取没进行过上述抽样检查的未检查的元件的特性值；等级划分部，根据上述收集到的通过抽样检查获得的元件的特性值和通过上述检查插补部求得的元件的特性值，按等级制作与元件组有关的信息；以及信息制作部，根据与上述等级和上述元件组有关的信息制作所希望的信息。
百度查询： 株式会社东芝 检查系统、检查方法及检查装置
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