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申请/专利权人：夏普株式会社
申请日：2015-10-16
公开（公告）日：2017-08-18
公开（公告）号：CN107075658A
专利技术分类：.局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物[2006.01]
专利摘要：蒸镀掩模1的制造方法包括：准备包含树脂材料21和无机填料的混合物20的工序；和使用作为成形模具的反应器31将混合物20成形，由此，将包含由树脂材料21构成的树脂13和掺杂在该树脂13中的无机填料的掩模基板11成形的成形工序。
专利权项：一种蒸镀掩模的制造方法，所述蒸镀掩模具备掩模基板，且在该掩模基板上设置有使蒸镀颗粒通过的开口部，所述蒸镀掩模的制造方法的特征在于，包括：准备包含树脂材料和无机填料的混合物的工序；和使用成形模具将所述混合物成形，由此，将包含由所述树脂材料构成的树脂和掺杂在该树脂中的无机填料的掩模基板成形的成形工序。
百度查询： 夏普株式会社 蒸镀掩模的制造方法、蒸镀掩模、蒸镀装置、蒸镀方法
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