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申请/专利权人：株式会社其恩斯
申请日：2004-03-20
公开（公告）日：2004-12-01
公开（公告）号：CN1550754A
专利技术分类：.用于计量长度、宽度或厚度（G01B11/08优先）[2006.01]
专利摘要：一种位移计和位移测定方法，其无论被测定物的表面状态如何，均能进行稳定测量。这种位移计具有将光投射到被测定物16的物镜15；使物镜15以规定振幅沿通过物镜的光的光轴方向振动的起振部；检测物镜15位置的位置检测部；使物镜15沿与光轴方向正交的平面移动的物镜扫描部52；检测物镜15移动位置的物镜移动检测部53；根据由物镜移动检测部53检测的测定区域内的物镜15的位置信息和在多个测定点测定的位移量，演算测定区域内位移量分布用的演算处理部58；输出由演算处理部58演算出的结果用的输出部。
专利权项：1.一种位移计，其具有：产生投射到被测定物的光的发光部；接收从上述发光部出射的光，并投射到被测定物上的物镜；使上述物镜以规定振幅沿第一方向振动的起振部；检测上述物镜在第一方向移动的位置的位置检测部；使来自被测定物的反射光通过的光圈部；对通过上述光圈部的光进行接收的光接收部；取得上述光接收部接收到的光接收量为最大时刻的上述位置检测部的检测位置，根据其演算与被测定物相关位移的位移演算部；其特征在于，使上述物镜沿与第一方向正交的第二方向移动的物镜扫描部；通过上述物镜扫描部使物镜沿第二方向移动，使被测定物的测定点以规定的移动量进行移动，在多个测定点测定位移，根据各测定点的位移测定结果演算与被测定物相关二维位移的演算处理部。
百度查询： 株式会社其恩斯 位移计和位移测定方法
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