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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
申请日：2006-03-13
公开（公告）日：2007-09-19
公开（公告）号：CN101036913A
专利技术分类：
专利摘要：提供能够可靠地防止从零件除去的尘埃再次附着在零件上的除尘装置以及除尘方法。该除尘装置18具备：具有保持处理对象50的保持台30的除尘室12；对处理对象50吹送空气的空气喷射装置22；和从除尘室12吸引尘埃的负压产生装置18；其特征在于，负压产生装置18，以在除尘结束后在预先规定的规定时间内继续动作的方式构成。
专利权项：1.一种除尘装置，该除尘装置具备：具有保持处理对象的保持台的除尘室；对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置；和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置；其特征在于：前述负压产生装置，被构成为在除尘结束后，在预先规定的规定时间内继续动作。
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