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申请/专利权人：横河电机株式会社
申请日：2007-07-27
公开（公告）日：2008-01-30
公开（公告）号：CN101114806A
专利技术分类：
专利摘要：本发明提供了一种XY平台，能够以低廉的成本追加功能，而改善下轴笔直度的精度。该XY平台包含：下轴马达，其配置在X轴方向或Y轴方向，且具有沿该轴方向受到位置控制的下轴滑动器；上轴马达，其沿Y轴方向或X轴方向设在该下轴滑动器之上，且具有沿该轴方向受到位置控制的上轴滑动器；及下轴驱动器与上轴驱动器，依据上位装置传来的指令，分别对该下轴滑动器及该上轴滑动器进行位置控制，其特征为：更具有上轴位置修正机构，其对应该下轴滑动器的轴方向位置，预先测量并保存轴方向笔直线的垂直方向的偏离量；该上轴驱动器依据该从下轴驱动器取得的该下轴滑动器的位置信息，由该上轴位置修正机构读出该偏离量，而修正该上轴滑动器的位置。
专利权项：1.一种XY平台，包含：下轴马达，其配置在X轴方向或Y轴方向上，且具有在该轴方向上受到位置控制的下轴滑动器；上轴马达，其沿Y轴方向或X轴方向安装在该下轴滑动器上，且具有在该轴方向上受到位置控制的上轴滑动器；以及下轴驱动器与上轴驱动器，其根据上位装置传来的指令，分别对该下轴滑动器以及该上轴滑动器进行位置控制，其特征为：还包含上轴位置修正机构，其对应该下轴滑动器的轴方向位置，预先测量并保存轴方向笔直线的垂直方向的偏离量，该上轴驱动器，依据从该下轴驱动器取得的该下轴滑动器的位置信息，以该上轴位置修正机构读出该偏离量，并修正该上轴滑动器的位置。
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