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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
申请日：2016-03-24
公开（公告）日：2016-10-12
公开（公告）号：CN106007356A
专利技术分类：....用玻璃基体上沉积玻璃法，例如用化学气相沉积法（C03B37/016优先；用涂覆玻璃法的玻璃表面处理入C03C17/02）[2006.01]
专利摘要：一种烧结多孔质玻璃母材的烧结装置，包括：炉心管，容纳多孔质玻璃母材，由加热器围绕；盖部件，具有与多孔质玻璃母材结合的保持杆插通的插通孔，安装在炉心管的一端；密封腔，具有导入密封气体的供给口和排出密封气体的排出口，覆盖插通孔，设置在盖部件上；以及筒状部件，在密封腔的内部被保持杆插通，生成炉心管的内部的管内气体和密封腔的内部的气体之间的压力差。
专利权项：一种烧结装置，用于烧结多孔质玻璃母材，其特征在于，包括：炉心管，容纳多孔质玻璃母材，由加热器围绕；盖部件，具有与多孔质玻璃母材结合的保持杆插通的插通孔，安装在所述炉心管的一端；密封腔，具有导入密封气体的供给口和排出密封气体的排出口，覆盖所述插通孔，设置在所述盖部件上；以及筒状部件，在所述密封腔的内部被所述保持杆插通，生成所述炉心管的内部的管内气体和所述密封腔的内部的气体之间的压力差。
百度查询： 信越化学工业株式会社 烧结装置及烧结方法
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