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申请/专利权人：精工半导体有限公司
申请日：2012-05-31
公开（公告）日：2016-11-30
公开（公告）号：CN102810430B
专利技术分类：.由加速度的变化操作的开关，例如由冲击和振动操作的开关、惯性开关[2006.01]
专利摘要：本发明提供的加速度开关，具有在内侧具有空间的质量体和被配置成支撑上述质量体且包围质量体的圆弧状的梁，并在质量体的空间具有对置电极，通过改变质量体的体积来进行加速度灵敏度的调整。据此，能够例如以0.2G步长准备多个具有单一的加速度灵敏度的阈值的加速度开关，对用户提供多种类灵敏度的加速度开关。从而，解决加速度传感器的消耗电流大、在电池驱动的便携式设备中其寿命非常短这一课题。
专利权项：一种加速度开关，具有：在内侧具有空间的质量体；被配置成支撑所述质量体且包围所述质量体的、由SOI晶片的有源层构成的一根圆弧状的梁；在所述质量体的所述空间内配置的对置电极；以及在所述质量体的与所述对置电极相向的内侧部分设置的内侧切削部分，所述内侧切削部分包括在蚀刻形成所述质量体时切削的与所述对置电极相接触的第一切削部分以及切削所述质量体的内侧部分的第二切削部分，该第二切削部分比该第一切削部分切削深，具有与所述内侧切削部分的大小相应的加速度灵敏度的阈值。
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