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申请/专利权人：摩托罗拉公司
申请日：2005-05-13
公开（公告）日：2008-04-02
公开（公告）号：CN100378889C
专利技术分类：.由加速度的变化操作的开关，例如由冲击和振动操作的开关、惯性开关[2006.01]
专利摘要：一种加速度开关及其方法，包括提供传导基板10和绝缘顶盖16。在绝缘顶盖16中形成了凹陷区域。绝缘层12安置在基板10上。传导层14安置在绝缘层12上。对传导层14进行刻蚀以形成悬梁34和电气隔离岛36。在悬梁34周围对绝缘层12进行刻蚀以释放悬梁34使之移动。触点安置在悬梁34上和凹陷区域中，由此在向开关施加加速度时，触点能够相互电气接触。顶盖16接合到传导层14，用以密封悬梁34。
专利权项：1.一种用于制造加速度开关的方法，包括步骤：提供基板10和绝缘顶盖16；在绝缘顶盖16中形成凹陷区域；在基板10上安置电绝缘层12；在绝缘层12上安置传导层14；刻蚀传导层14以在其中形成悬梁34和电气隔离岛36；在悬梁34周围刻蚀绝缘层以释放悬梁34使之在加速过程中偏转；在悬梁34上安置第一触点，并且在绝缘顶盖16的凹陷区域中安置第二触点，由此在组装加速度开关时，触点将位于相互邻近的位置，并且在向开关施加加速度时，其能够相互电气接触；以及使顶盖16同传导层14接合，用以密封悬梁34。
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