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申请/专利权人：武藏工业株式会社
申请日：2017-09-29
公开（公告）日：2019-05-21
公开（公告）号：CN109789434A
专利技术分类：
专利摘要：技术问题：提供一种可在具有机械差异的多个作业头之间获得无差异的作业的作业装置和使用其的作业方法。技术方案：一种作业装置和使用其的作业方法，包括执行同一作业的n个n为2以上的自然数作业头、保持作业对象物的载置台、使载置台和作业头相对移动的第1方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第2方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第3方向驱动装置、测量各作业头的作业量的作业量测量装置、控制装置，第1方向驱动装置能够使n个作业头在第1方向分别独立地移动，第2方向驱动装置包括使n个作业头在第2方向同时移动的第2方向主驱动装置和使n个作业头中的n－1个作业头在第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。
专利权项：1.一种作业装置，其特征在于，包括：执行同一作业的n个作业头，其中，n为2以上的自然数；用于保持作业对象物的载置台；第1方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在第1方向相对移动；第2方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向正交的第2方向相对移动；第3方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；测量各作业头的作业量的作业量测量装置；和控制装置，其控制n个作业头和第1至第3方向驱动装置的动作，所述第1方向驱动装置能够使所述n个作业头在所述第1方向分别独立地移动，所述第2方向驱动装置包括：使所述n个作业头在所述第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使所述n个作业头中的n－1个作业头在所述第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。
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