龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：旭化成株式会社
申请日：2014-03-11
公开（公告）日：2019-07-23
公开（公告）号：CN105051604B
专利技术分类：.薄膜或薄膜集合，例如在支持框架上具有薄膜；其制备[2012.01]
专利摘要：提供对EUV光具有高透射性、具有实用上充分的物理强度和耐久性，并且能够容易地去除膜碎片、且生产率优异的表膜用膜和表膜。表膜用膜1由碳多孔体膜构成，膜厚D为100nm～63μm。
专利权项：1.一种表膜用膜，其由碳多孔体膜构成，膜厚D为100nm～63μm，其中，波长13.5nm的极紫外光通过1次时的透射率T为84％以上，且所述极紫外光通过1次时的所述碳多孔体膜的基于细孔的散射量Δ为10％以下。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号