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申请/专利权人:福建北电新材料科技有限公司
申请日:2019-09-09
公开(公告)日:2019-11-15
公开(公告)号:CN110453285A
专利技术分类:..碳化物[2006.01]
专利摘要:本发明提供了一种坩埚盖及坩埚,涉及晶体材料加工设备的技术领域,该坩埚盖包括盖板本体以及可更换的籽晶安装部,籽晶安装部与盖板本体可拆卸连接,籽晶安装部用于安装籽晶,本发明提供的坩埚盖通过将籽晶安装部与盖板本体可拆卸设置,这样在籽晶安装部安装籽晶后,如果籽晶粘结不合格,可只将籽晶安装部废弃,相比现有技术将石墨坩埚盖整体废弃的方式,本发明的盖板本体仍然可以使用,废弃的材料少,节约了生产成本。
专利权项:1.一种坩埚盖,其特征在于,包括盖板本体以及可更换的籽晶安装部,所述籽晶安装部与所述盖板本体可拆卸连接,所述籽晶安装部用于安装籽晶。
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