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申请/专利权人：青岛福润德微电子设备有限公司
申请日：2019-01-30
公开（公告）日：2020-01-07
公开（公告）号：CN209910389U
专利技术分类：
专利摘要：本实用新型公开一种石英保温环，其包括由石英纤维布形成的外筒环和内筒环，内筒环位于外筒环的空腔内，内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充有石英棉，其中，内筒环由形成外筒环的石英纤维布向外筒环空腔内翻折形成，翻折后两端通过石英纤维线缝制到一起形成环状，内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充的石英棉为层状垒叠，每层石英棉按照相同角度倾斜垒叠。相较于现有产品，本实用新型石英保温环具有更高的结构强度，能够长期保持整体形态不塌陷、不变形，从而确保安装到扩散炉炉口时不会出现局部塌陷或褶皱的问题，且该石英保温环内的石英棉均匀性更好，因而可有效提升炉体保温效果，进一步提升半导体的加工品质。
专利权项：1.一种石英保温环，其特征在于，包括由石英纤维布形成的外筒环和内筒环，所述内筒环位于外筒环的空腔内，所述内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充有石英棉，其中，所述内筒环由形成外筒环的石英纤维布向外筒环空腔内翻折形成，翻折后两端通过石英纤维线缝制到一起形成环状，所述内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充的石英棉为层状垒叠，每层石英棉按照相同角度倾斜垒叠。
百度查询： 青岛福润德微电子设备有限公司 一种石英保温环
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