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申请/专利权人：吉林麦吉柯半导体有限公司
申请日：2016-12-30
公开（公告）日：2017-07-21
公开（公告）号：CN206349345U
专利技术分类：..使用专用的载体的[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种石英舟及其石英舟组件，其通过在石英舟上设置石英舟本体、第一支撑杆、第二支撑杆、第一固定架以及第二固定架，并在石英舟本体上设置50个相互平行且等距的用于放置晶圆的石英舟槽，降低了晶圆装卸过程中的劳动强度，实现了石英舟与自动设备配套装卸晶圆，降低晶圆装卸过程中的异常。同时石英舟组件其能够装载多个石英舟，更好地配合作业，提高生产效率。
专利权项：一种石英舟，其特征在于，包括石英舟本体、第一支撑杆、第二支撑杆、第一固定架以及第二固定架，所述第一支撑杆与所述第二支撑杆均沿长度方向设置于所述石英舟本体的底部，所述第一固定架与所述第二固定架分别沿长度方向连接于所述石英舟本体的相对的两侧，所述石英舟本体为槽体，所述槽体的槽面为弧面，所述槽面沿其长度方向设置有50个相互平行且等距的用于放置晶圆的石英舟槽。
百度查询： 吉林麦吉柯半导体有限公司 石英舟及其石英舟组件
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